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TESCAN SOLARIS

Dual Beam: Ga FIB + UHR FE-SEM
最先進的FIB奈米加工能力與超高SEM解析度－挑戰樣品製備品質的極限

100uA FIB的離子束流 + 0.6nm的SEM解析度

  • TESCAN SOLARIS (Ga Dual Beam) 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統，適用於 “超薄TEM薄片樣品製備(Lamella)” 及 “細緻的橫節面拋光 (Cross-Section)” 和其它具有挑戰性的奈米加工應用。

  • 先進半導體的故障分析及材料科學的分析一直以來是一個挑戰，分析過程需要精細的樣品製備，同時也需要超高解析度SEM來驗證失效問題，TESCAN SOLARIS (Ga Dual Beam)提供了一個可靠的解決方案來完成樣品製備的高品質需求、

  • TESCAN SOLARIS 配置了 Orage™ FIB鏡筒，不僅為奈米加工提供了最佳的精度 (I-beam image <2.5nm)，因此可以滿足精細與高效的分析需求，出色的低電壓離子束解析度與性能使得 TESCAN SOLARIS有能力製備小於20nm厚度的TEM Lamella；此外，高達100 nA 的離子束束流可以對各種樣品，如半導體樣品、生物樣品、材料樣品進行較大體積的橫截面加工(Cross-Section)、3D斷層掃描(Tomography)…等。新一代 Triglav™ SEM鏡筒及探測器系統具有優異的樣品表面靈敏度和出色的成像對比度；兩者的結合提供了一個有效可、靠的高品質的樣品製備性能。

  • TESCAN SOLARIS 使用了嶄新的 Essence™ 操作軟體，軟體使用者介面友善易學易懂，可以滿足各類應用任務需求，使用者可以依據使用需求定制的軟體慣用佈局，以及使用自動化的樣品製備功能，可以最大化的提升了操作的便捷性、可重複性來獲得最高的工作效率。

Features 功能特點

  • 使用 TESCAN 的 Essence GUI 的專用工作流程， 可以點輕鬆製備超薄 TEM 樣品在<10nm的半導體技術節點

  • 使用可低至500V的FIB加速電壓研磨對樣品進行最終拋光，可製備出幾乎可忽略的損害層(非晶層Amorphous)的高質量 TEM Lamella樣品

  • 專利的FIB鏡筒下方的奈米機械手, 可以輕鬆直觀的實現，倒置TEM薄片(Inverted-lamella)、平面TEM薄片(Planar-lamella)，及交錯TEM薄片(Cross-lamella).

  • 可選的 TESCAN AutoSlicer™ 自動 TEM 樣品製備模組可以縮短TEM樣品的製備時間

  • 配置 Triglav™ SEM 柱的高分辨率成像功能在蝕刻(Milling)或橫截面(Cros-section)精準的提供停刀點(End-point)的影像資訊

  • 使用 TESCAN 最高分辨率的 Triglav™ SEM 鏡筒對光束敏感材料進行高解析成像，浸沒式電子光學設計用於在光束重合點處實現出色的表面靈敏度和高材料對比度

  • TESCAN Essence™ 圖形化可自定義布局的使用者界面，將操作簡單化、流程化、友善化

Technical Specifications
Electron Optics:
Electron Gun:    High brightness Schottky emitter
Electron Optics:    Triglav™ column
Resolution:    Standard mode:
0.6 nm at 15 keV
1.2 nm at 1 keV    Beam Deceleration mode:
0.9 nm at 1 keV    STEM:
0.5 nm at 30 keV
Maximum Field of View:    >10 mm at max. WD 
Electron Beam Energy:    50 eV to 30 keV
Probe Current:    up to 400 nA
Ion Optics:
Ion Column:    Orage™
Ion Gun:    Gallium liquid metal ion source
Resolution:    < 2.5 nm at 30 keV
Ion Beam Energy:    500 eV to 30 keV 
Probe Current:    < 1 pA to 100 nA
SEM-FIB Coincidence at:    WDSEM = 5 mm 

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SEMI L2 SOLARIS Brochure

SEMI L2 SOLARIS App Note_3D reconstruction

MS L1 SOLARIS Product Flyer_MATERIALS SCIENCE

SEMI L1 SOLARIS Product Flyer_FOR SEMICONDUCTORS

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